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空气洁净度等级

1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器。环境温度洁净室区的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应。

2、采样点的位置及数量a.测定洁净度的每次采样量；b.每个洁净区少采样次数为3次，当洁净区仅有一个采样点时，则在该点至少采样3次；d.对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境采样量很大可采用iso14644-1附录f规定的顺序采样法。

3、技术要求每个采样点的平均粒子浓度ci应小于或等于洁净度等级规定的限值；全部采样点的平均粒子浓度n的95%置信上限值应小于或等于洁净等级规定的限值。

（二）洁净室制造竣工验收的调试工作

1、凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。

属于机械设备的共性要求还应符合相关规定和机械设备施工安装方面的有关行业标准。通常洁净室需进行单机试运转的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净储物柜等局部净化设备以及空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备等。