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尽管对净化车间内的洁净度的测量,可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,但目前用得多的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量,环境评估中心,并且可以直接显示瞬时的含尘浓度,环境评估报告,也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量,使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。
送风管或过滤器密封不好。这种现象是施工粗糙导致的,在验收时会表现出在同一系统中某个房间或局部不合格,滑县环境评估,改进的方法是,送风管采用漏光试验法检漏,过滤器用粒子计数器对过滤器的断面、封胶、安装框架进行扫描,找出泄露位置,---密封。
回风管道或回风口设计、调试不好。在设计方面的原因,有时因空间所限未能采用“顶送侧回”或者回风口数量不够,在设计方面的原因排除后,回风口的调试也是重要的工工环节。如果调试不好,回风口阻力过大,回风量小于送风量,也会导致洁净度不合格。另外在车间净化工程施工中,回风口离地面的高度对洁净度也有影响。
(二)洁净室制造竣工验收的调试工作
1、凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。
属于机械设备的共性要求还应符合相关规定和机械设备施工安装方面的有关行业标准。通常洁净室需进行单机试运转的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净储物柜等局部净化设备以及空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备等。
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